• Introduction

    Yonsei Microsystems Laboratory

MEMS

Total 1건 1 페이지
MEMS 목록
번호 제목 작성일
1

MEMS란 무엇인가?

Microelectromechanical Systems (MEMS)란 크기가 1 미크론에서 1mm에 이르는 반도체 공정을 이용한 일괄공정(batch-process)을 통해 제작된 전기 전자기기 시스템을 일컫는다.

1947년에 개발된 트랜지스터의 경우에는 현재 그 선 폭이 130 나노 미터에 이르는 양산 공정이 개봘되었으며, 연구실 수준에서는 전자빔(e-beam)공정을 이용하여 10나노 미터에 이르는 공정 또한 개발중이다. 기계적인 부품에 대해서는 매우 작은 크기의 기계 요소를 생산하는 공정이 최근부터 개발중이다.

정전기력, 자기력을 이용한 액튜에이터(actuactor), 모터 외팔 보나, 박막 격판(diaphragm)등이 MEMS 공정을 이용하여 제조되어 압력, 온도, 화학 센서로 또, 회전 혹은 직선 구동에 사용되고 있다.

많은 경우에 있어서 이러한 소형화 기술은 그 물리적 크기, 무게를 작게 하는 것 이외에도 신뢰도와 기능을 향상 시킨다.

Contact Us

If you are interested in research,
please contact us.